吸着等温線の測定としては定容量法・重量法・パルス吸着法・流動法などがあり、比表面積・細孔分布を測定する方法としては主に定容量法が用いられている。
定容量法
定容量法は、図に示すように圧力計、バルブ、真空排気系からなり、あらかじめ内部体積をキャリブレーションした上で測定される。吸着量は、気体の状態方程式から導入した気体の分子数（モル数）から吸着平衡後の分子数（モル数）を差し引き計算する。定容量法は、前処理が別途（専用脱ガス機）行うことができ、高効率に吸着等温線ならびに比表面積・細孔分布が測定できる。しかし実際の吸着量計算においては、ガス密度が高いときの非理想性の補正、低圧測定時のサーマルトランスピレーション補正を行う必要がある。
パルス吸着法・流動法
パルス法吸着装置はH2やCOが貴金属に化学吸着する特性を利用し、貴金属の活性表面積を測定する目的で利用されている。検出器としては、ガスクロで利用されているTCD（熱伝導度検出器）を使用する。Heなどの不活性ガスをサンプルに流し、吸着ガスをパルス的に導入し吸着量を測定する。測定前に貴金属の表面を清浄にする酸化・還元処理が必要である。 流動式吸着量測定装置は、BET１点法や昇温脱離測定装置に利用される。パルス法と同様TCD検出器を使用し、サンプル出口側のガス濃度変化を測定積分し吸着量を測定する。本方法は、短時間に吸着量を測定できる特徴があり材料の品質管理などに良く用いられている。
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